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申请/专利权人：天津大学
摘要：本申请公开一种纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品，涉及谐振器技术领域。该谐振器包括沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、介质层及键合于介质层背离第二电极的一侧表面的衬底；介质层与第二电极的引出部对应的位置具有第一通孔；介质层与第二电极引出部之外的区域对应的位置具有一空腔；衬底上具有第二通孔，第二通孔与第一通孔对齐连通；第一通孔的侧壁、第二通孔的侧壁及通过第一通孔暴露的第二电极上具有金属层，金属层延伸至衬底背向介质层的表面。本申请通过控制第一通孔中轴线与空腔上底面的距离，减小器件尺寸，增加单位晶圆面积上的器件数量，降低成本；同时通过键合工艺提高了工艺可靠性和良品率。
主权项：1.一种纵向电场激励单晶压电谐振器，其特征在于，包括沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、介质层以及通过键合工艺形成于所述介质层背离所述第二电极的一侧表面的衬底；所述介质层与所述第二电极的引出部对应的位置具有第一通孔；所述介质层与所述第二电极的引出部之外的区域对应的位置具有一空腔，所述空腔的上底面暴露出所述第二电极背离所述单晶压电薄膜的一侧表面的局部，所述空腔的下底面暴露出所述衬底与所述介质层贴合的一侧表面的局部；所述衬底上具有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔对齐连通；所述第一通孔的侧壁、所述第二通孔的侧壁以及通过所述第一通孔暴露的所述第二电极上具有金属层，所述金属层延伸至所述衬底背向所述介质层的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品
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