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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种基于视觉识别的快速晶圆位置数量检测系统，涉及晶圆视觉检测技术领域，本检测系统包括机台；机械臂，安装在所述机台内；检测仓，固定在所述机台的一侧，且其上安装有观察窗；载台组件，固定在所述检测仓内，用于对片盒进行夹持；检测组件，固定在所述观察窗上，且位于所述检测仓内；反光组件，固定在所述检测仓远离所述观察窗的内壁，且所述反光组件与检测组件对应；本发明通过在观察窗上安装检测组件能够避免对检测仓进行较大的改动，节约成本，并且通过反光组件能够改善检测仓内部的光线分布，从而便于检测组件的检测。
主权项：1.一种基于视觉识别的快速晶圆位置数量检测系统，其特征在于，包括：机台（1）；机械臂（2），安装在所述机台（1）内；检测仓（3），固定在所述机台（1）的一侧，且其上安装有观察窗（6）；载台组件（4），固定在所述检测仓（3）内，用于对片盒（5）进行夹持；检测组件（7），固定在所述观察窗（6）上，且位于所述检测仓（3）内；反光组件（8），固定在所述检测仓（3）远离所述观察窗（6）的内壁，且所述反光组件（8）与检测组件（7）对应；其中，所述检测组件（7）包括合页（71），所述合页（71）的一端面固定在观察窗（6）上，另一端面固定有检测板（72），所述检测板（72）上可拆卸的安装有视觉传感器（73），所述检测板（72）远离所述合页（71）的一端铰接有调节缸体（74）的一端，所述调节缸体（74）的另一端铰接在安装板（75）上，所述安装板（75）固定在观察窗（6）上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡邑文微电子科技股份有限公司 一种基于视觉识别的快速晶圆位置数量检测系统
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