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申请/专利权人：深圳市纳宏光电技术有限公司
摘要：本发明公开了一种基于AAO模板的OPA滤光片制备方法及滤光片，在间隔层银纳米阵列膜层的区域由上介质反射层填充，由AAO模板调控银纳米阵列的宽度与上介质反射层的宽度，便可实现其干涉相长，使能量叠加増强，提高光信号强度，形成有规律的光学相位阵列，让激光雷达拥有更高的精度和更远的探测距离；同时，利用离子束能量分布特性，由中间向四周衰减的阶梯式能量环形分布特征，蚀刻银纳米阵列，以调整银纳米阵列的厚度来实现光学薄膜光谱的多重选择性，以银纳米阵列间隔层变厚度的方式等效替代掉变角度的方式，实现角度调谐与空间分布干涉叠加增强的功能，进一步提高激光雷达的精度和探测距离。
主权项：1.一种基于AAO模板的OPA滤光片制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：步骤一、取玻璃基板，在玻璃基板上沉积下介质反射层；步骤二、在下介质反射层上设置AAO模板，将Ag沉积至AAO模板的纳米孔洞内；步骤三、去除AAO模板留下银纳米阵列膜层；步骤四、通过中间能量高依次向四周递减的离子束对银纳米阵列膜层进行离子刻蚀，形成向中心凹陷碗状蜂窝阵列形状的银纳米阵列膜层；步骤五、在离子刻蚀后的银纳米阵列膜层上沉积上介质反射层。
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权利要求：
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