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申请/专利权人：深圳市朗纳研磨材料有限公司
摘要：本发明公开了一种稳定性高的铜层抛光液及其制备方法，涉及铜层抛光液技术领域，包括搅拌器，所述搅拌器包括搅拌箱，所述搅拌箱的顶部设置有搅拌电机，且搅拌电机的底部连接有搅拌轴，所述搅拌箱的顶面开设有进料口。该稳定性高的铜层抛光液及其制备方法，投料时搅拌电机带动搅拌轴缓速转动以稳定进行接收原料，而在搅拌搅拌箱底部的原料时搅拌轴转速加快，此时分料环盒转速也随之加快导致其抖动频率也更频繁，而抖动频率的频繁化会加强对原料的抖动效果以增强防堆积效果，其次分料室内部的原料在旋转作用下均匀洒落至搅拌箱内部各位置，而原料均匀分布于搅拌箱各部位以加快各原料混合速度，以缩短铜层抛光液的制备流程。
主权项：1.一种稳定性高的铜层抛光液，其特征在于：所述稳定性高的铜层抛光液按重量百分比包括下述成分：去离子水：80-85%；30%浓度的过氧化氢：3-5%；柠檬酸：0.5-1%；苯并三唑：0.1-0.3%；二氧化硅研磨颗粒：1-3%；乙二胺四乙酸：0.2-0.5%；聚乙烯吡咯烷酮：0.1-0.3%；氨水；其中氨水用于进行pH调节，而二氧化硅研磨颗粒的粒径平均为50nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市朗纳研磨材料有限公司 一种稳定性高的铜层抛光液及其制备方法
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