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申请/专利权人:先导薄膜材料(淄博)有限公司
摘要:本实用新型涉及靶材技术领域,公开了一种靶材绑定用加热箱,包括箱体、可开合地盖设于所述箱体的盖体,所述箱体的外壁设有加热装置,所述箱体的内部设有用于连接压缩空气的散热管,所述散热管上开设有空气出口,所述箱体的底部设有多组定位固定组件,所述定位固定组件用于连接靶材夹紧组件。采用本实用新型提供的靶材绑定用加热箱,一次可以在箱体内安装多个靶材夹紧组件,即一次实现了多支靶材的升温加热。在加热完成需降温时,打开盖体,向散热管通入压缩空气,压缩空气从空气出口流向靶材,并从箱体的开口流出,实现了对靶材的快速散热,提高了靶材的降温速率,从而提高了靶材的绑定效率。
主权项:1.一种靶材绑定用加热箱,其特征在于:包括箱体、可开合地盖设于所述箱体的盖体,所述箱体的外壁设有加热装置,所述箱体的内部设有用于连接压缩空气的散热管,所述散热管上开设有空气出口,所述箱体的底部设有多组定位固定组件,所述定位固定组件用于连接靶材夹紧组件。
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权利要求:
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