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管芯堆叠件的形成方法及管芯堆叠结构 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:一种形成管芯堆叠件的方法,包括:将第一器件管芯接合至第二器件管芯;将第一器件管芯密封在第一密封剂中;在第二器件管芯上实施背面研磨工艺,以露出第二器件管芯中的贯穿通孔;以及形成位于第二器件管芯上的第一电连接器,以形成封装件。封装件包括第一器件管芯和第二器件管芯。该方法还包括将第一封装件密封在第二密封剂中;以及形成与第一封装件和第二密封剂重叠的互连结构。互连结构包括第二电连接器。根据本申请的其他实施例,还提供了管芯堆叠结构。

主权项:1.一种形成管芯堆叠件的方法,包括:将第一器件管芯接合至第二器件管芯;将所述第一器件管芯密封在第一密封剂中;在所述第二器件管芯上实施背面研磨工艺,以露出所述第二器件管芯中的贯穿通孔;形成位于所述第二器件管芯上的第一电连接器,以形成第一封装件,其中,所述第一封装件包括所述第一器件管芯和所述第二器件管芯;将所述第一封装件密封在第二密封剂中;以及形成与所述第一封装件和所述第二密封剂物料接触的互连结构,其中,所述互连结构包括第二电连接器;所述方法还包括:锯切所述第二密封剂和所述互连结构,以形成第二封装件,其中,所述第二封装件包括所述第一器件管芯和所述第二器件管芯;以及将所述第二封装件接合至封装衬底。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 管芯堆叠件的形成方法及管芯堆叠结构

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