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申请/专利权人：长沙里妍环保科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片烘干炉，包括烘干炉本体和方管，所述烘干炉本体的内炉壁处固定有方管，还包括侧导流机构，所述侧导流机构包括导入孔、风入管、安装环、主风导管、辅风导管、底通管、风机、背靠板、对斜板、导风弯片和L形支板，在方管之间的烘干炉本体处设置侧导流机构取代硅片烘干炉原有顶端供风的结构，侧导流机构以双风机进行烘干炉本体的侧面多点供风，在风力导流作用下，方管之间硅片烘干炉原有导气管处发热元件产生的热量被高效带入烘干炉本体的炉腔内流动，使得烘干炉内的烘干风力携带热空气流动的效率提升，从而使得硅片更好的受热而快速升温，缩短烘干炉对硅片的烘干时间。
主权项：1.一种硅片烘干炉，包括烘干炉本体1和方管2，所述烘干炉本体1的内炉壁处固定有方管2，其特征在于：还包括侧导流机构3，所述侧导流机构3包括导入孔4、风入管5、安装环6、主风导管7、辅风导管8、底通管9、风机11、背靠板12、对斜板13、导风弯片14和L形支板15，所述方管2之间烘干炉本体1的侧炉壁处向外对称开设有用于插装风入管5的导入孔4，且风入管5伸出导入孔4的外管壁处焊接有安装环6，所述安装环6与导入孔4外侧的烘干炉本体1之间锁紧有螺栓，所述风入管5伸出导入孔4外端管体在主风导管7和辅风导管8表面排列互通焊接，所述主风导管7和辅风导管8的底管口通过焊接底通管9进行互通，且主风导管7和辅风导管8的顶端管口处通过螺栓锁紧有风机11，所述主风导管7和辅风导管8内插入有背靠板12，且背靠板12底端焊接有插入底通管9内的L形支板15，所述背靠板12的板体表面通过对斜板13朝向风入管5方向焊接有导风弯片14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙里妍环保科技有限公司 一种硅片烘干炉
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