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申请/专利权人：友通科技(嘉兴)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种烘洗一体硅片处理篮，包括烘洗一体处理设备本体、固定机构、硅片处理篮机构、连接板、处理篮，所述烘洗一体处理设备本体顶面设有调节机构，所述调节机构上设有固定机构，所述连接板底面两端分别固接安装块，所述处理篮顶面两端分别固接安装架，所述安装架顶部接触安装块内壁。本实用新型通过设置安装块、槽口、螺纹孔、螺纹转杆、连接杆、限定杆、限定块等，通过安装块对安装架的水平方向的位置进行限位，通过限定块对安装架的垂直方向的位置进行限位，方便对处理篮进行安装，便于处理篮进行拆装，操作比较的方便，提高硅片烘洗的效率，方便使用。
主权项：1.一种烘洗一体硅片处理篮，包括烘洗一体处理设备本体1、固定机构3、硅片处理篮机构4、连接板31、处理篮41，其特征在于：所述烘洗一体处理设备本体1顶面设有调节机构2，所述调节机构2上设有固定机构3，所述连接板31底面两端分别固接安装块32，所述处理篮41顶面两端分别固接安装架42，所述安装架42顶部接触安装块32内壁，所述安装块32内一侧开设槽口322，所述槽口322内一侧开设螺纹孔323，所述螺纹孔323内螺纹连接螺纹转杆33，所述螺纹转杆33端部固接连接杆331一端，所述连接杆331另一端固接限定杆332，所述连接杆331、限定杆332转动连接限定块34内部，所述限定块34滑动连接槽口322，所述限定块34接触安装架42顶面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 友通科技(嘉兴)有限公司 一种烘洗一体硅片处理篮
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