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一种应用具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件的外腔半导体激光器 

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申请/专利权人:北京大学邯郸创新研究院

摘要:本发明提供一种应用具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件的外腔半导体激光器,所述激光器包括依序设置在光路上的激光二极管、准直透镜、滤光器和激光腔镜;所述激光腔镜是具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件,该光学元件包括严密贴合在一起的微凸透镜阵列、超低膨胀率玻璃板和平面反射镜,且超低膨胀率玻璃板的厚度是所述微凸透镜的焦距。本发明对激光腔镜进行结构改进,利用具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件通过将微透镜阵列、超低膨胀率玻璃板和平面反射镜集成于一体的特点,实现光束在平面镜上均匀分布的阵列式聚焦光斑,避免单一聚焦光斑对平面镜上膜层的损坏,提高元件损伤阈值,提高了激光器的机械稳定性和抗干扰性。

主权项:1.一种应用具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件的外腔半导体激光器,所述激光器包括依序设置在光路上的激光二极管101、准直透镜102、滤光器103和激光腔镜107;其特征在于激光腔镜107是具有猫眼结构的集成式微透镜阵列光学元件,所述光学元件包括微凸透镜阵列和平面反射镜,所述微凸透镜阵列的一面为微凸透镜表面,另一面为平面,在所述微凸透镜阵列的平面与平面反射镜之间设置超低膨胀率玻璃板,使微凸透镜阵列、超低膨胀率玻璃板和平面反射镜严密贴合在一起,超低膨胀率玻璃板的厚度是所述微凸透镜的焦距。

全文数据:

权利要求:

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