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申请/专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
摘要：本发明涉及一种用于CVD‑反应器1的进气设备，其具有能固定在具有气体供给管线5的固定部段3上的进气装置，该进气装置具有多个相互叠置的气体分配层，该气体分配层分别具有带有出气开口7的气体分配壁6，该出气开口7与由气体分配壁6包围的气体分配腔8流体连通，其中，带有汇入口10的进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5通入气体分配腔8，不同的气体分配层的气体分配腔8分别通过分隔底部11彼此分离。按本发明，在进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5的汇入口10和气体分配壁6之间具有流动屏障。此外规定，进气设备由多个圆盘状的相互叠置的气体分配体4.1，4.2，4.3，4.4构成。
主权项：1.一种用于CVD-反应器1的进气装置，所述进气装置具有多个彼此堆叠的圆盘形的气体分配体4.1，4.2，4.3，4.4，4.5，所述气体分配体分别具有气体分配腔8和带有出气开口7的气体分配壁6，其中，所述气体分配腔8在所述出气开口7和进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5的汇入口10之间延伸，其中，不同的气体分配层的气体分配腔8分别通过分隔底部11彼此分离，其中，所述气体分配壁6与分隔底部11的边缘相连并且中央部段15从分隔底部11升起，其中，进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5布置在中央部段15中，在穿过中央部段15的横截面平面中彼此并排，并且彼此不同的进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5的汇入口10沿周向方向围绕中央部段15彼此错开地布置，其中，气体分配壁6与分隔底部11的边缘至少通过密封的相互抵靠而相连，其中，下方气体分配体4.2，4.3，4.4，4.5的中央部段15的向上指向的宽侧面15'贴靠在上方气体分配体4.1，4.2，4.3，4.4的分隔底部11的底侧或与之相连，并且上方气体分配体4.1，4.2，4.3，4.4的中央部段15的通道口16与下方气体分配体4.2，4.3，4.4，4.5的进气通道9.1，9.2，9.3，9.4，9.5的汇入口10流体连通并且朝上方宽侧面15'敞开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾克斯特朗欧洲公司 用于CVD-反应器的进气设备
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