龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖南联合半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种制备碳化钽涂层的CVD装置，包括沉积炉、混合气体进气管道、五氯化钽粉体仓、螺旋输送机构、流化仓、进气装置、流化气体进气管道；所述流化仓位于所述五氯化钽粉体仓的下方；所述螺旋输送机构竖直设置，其上端连接于所述五氯化钽粉体仓，下端连接于所述流化仓；所述流化气体进气管道与所述螺旋输送机构的内腔连通，混合气体进气管道与所述流化仓连通；所述流化仓与所述进气装置连通，所述进气装置设置于所述沉积炉。本发明采用气体流化的方式输送五氯化钽粉体，并将五氯化钽粉体的蒸发置于炉体结构上，避免了五氯化钽高温气体的输送风险，有助于防止卡粉，提高了粉体原料输运稳定性。
主权项：1.一种制备碳化钽涂层的CVD装置，包括沉积炉和混合气体进气管道，其特征在于：还包括有：五氯化钽粉体仓、螺旋输送机构、流化仓、进气装置、流化气体进气管道；所述流化仓位于所述五氯化钽粉体仓的下方；所述螺旋输送机构竖直设置，其上端连接于所述五氯化钽粉体仓，下端连接于所述流化仓；所述流化气体进气管道与所述螺旋输送机构的内腔连通，混合气体进气管道与所述流化仓连通；所述流化仓与所述进气装置连通，所述进气装置设置于所述沉积炉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南联合半导体科技有限公司 一种制备碳化钽涂层的CVD装置及工艺方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号