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申请/专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
摘要：本发明涉及一种用于向处理控制器15传输信息的方法，所述具有下列方法步骤，提供构件10，11，12，13，所述构件借助构造的体积区域设有可机器读取的特征标识16。在加热构件10，11，12，13时结构7，8，9在红外线范围内发光，使得所述结构能够被红外线传感器14区分。由隆起7或凹陷8构成的结构形成可机器读取的标识16，所述标识能用作真实性标记。当所述标识16在原位通过加热可被测得时，处理控制器15能够识别是否使用修正值来实施对基板6的热处理。
主权项：1.一种用于热处理至少一个基板6的CVD反应器1的处理室的构件10，11，12，13，其中，所述构件10，11，12，13在热处理时通过加热装置5被加热到一个超过500℃的高温温度，在该高温温度下通过温度传感器14能够根据所述温度传感器14的传感器信号20的强度相互区分所述构件10，11，12，13的彼此不同地构造的表面区域17，18，19，其中，所述构件10，11，12，13包括第一外表面、背离第一外表面指向的第二外表面和在第一外表面与第二外表面之间的体积，其特征在于，所述表面区域17，18，19形成所述构件10，11，12，13的可机器读取的特征标识16，其中，所述构件10，11，12，13的材料厚度和导热性如此选择，使得布置在所述第一外表面上的结构或者由布置在所述体积中的空腔构成的结构能够通过红外线敏感的传感器14在所述第二外表面上被识别。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾克斯特朗欧洲公司 CVD设备的设有特征标识的构件和用于传输信息的方法
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