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申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明公开了金刚石氮‑空位色心阵列传感器，涉及一种金刚石半导体传感器，包括传感器、金刚石衬底、金刚石外延层、NV色心层、纳米柱阵列结构和纳米柱阵列天线，所述传感器底端具有金刚石衬底，在所述金刚石衬底正面上有一层金刚石外延层，所述金刚石外延层是n型半导体，所述金刚石外延层表面存在采用原位MPCVD生长方式得到NV色心层，所述传感器NV色心层中NV色心的取向得到了择优取向，其中NV色心层具有10nm和50nm之间的厚度，所述金刚石外延层即传感接触层结构为纳米柱阵列结构，述传感接触层纳米柱包括金刚石纳米柱、介质层和金属层，所述介质层淀积在金刚石纳米柱表面，所述金属层淀积在介质层表面。
主权项：1.金刚石氮-空位色心阵列传感器，其特征在于，包括：传感器；金刚石衬底，所述传感器底端具有金刚石衬底；金刚石外延层，在所述金刚石衬底正面上有一层金刚石外延层，所述金刚石外延层是n型半导体；NV色心层，所述金刚石外延层表面存在采用原位MPCVD生长方式得到NV色心层，所述传感器NV色心层中NV色心的取向得到了择优取向，其中NV色心层具有10nm和50nm之间的厚度；纳米柱阵列结构，所述金刚石外延层即传感接触层结构为纳米柱阵列结构，所述纳米柱阵列结构包括金刚石纳米柱、介质层和金属层，所述介质层淀积在金刚石纳米柱表面，所述金属层淀积在介质层表面，所述纳米柱阵列结构依靠ICP刻蚀金刚石得到，NV色心层位于纳米柱表面；纳米柱阵列天线，所述金刚石衬底背面具有增强读出的纳米柱阵列天线。
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百度查询： 南京大学 金刚石氮-空位色心阵列传感器
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