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申请/专利权人：暨南大学
摘要：本发明属于电化学技术领域，公开了一种等离子注氮TiO2TiN电极及其制备方法与应用。所述等离子注氮TiO2TiN电极的制备方法，包括以下步骤：1将Ti片作为阳极，不锈钢片为阴极，进行电化学阳极氧化得到TiO2纳米管阵列；2离子注入机抽真空，以氮气为工作气体，将步骤1所得TiO2纳米管阵列通过离子注入的方式进行N掺杂，得到TiO2TiN纳米管阵列。本发明采用离子注入的方式将导电相TiN引入TiO2纳米管结构中，将材料纳米化与表面活化技术相结合。N离子注入过程中热效应对表面膜层的生长作用和高能离子对表面膜层的轰击破坏作用共同影响TiO2TiN电极的表面形貌。
主权项：1.一种超级电容器等离子注氮TiO2TiN电极的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将Ti片作为阳极，不锈钢片为阴极，进行电化学阳极氧化得到TiO2纳米管阵列；（2）离子注入机抽真空，以氮气为工作气体，将步骤（1）所得TiO2纳米管阵列通过离子注入的方式进行N掺杂，得到TiO2TiN纳米管阵列；步骤（2）进行离子注入时N离子注入计量为10.0×1017ions·cm-2；当N注入剂量达到10.0×1017ions·cm-2时，TiO2TiN纳米管近端口附近的管壁受到明显破坏，顶端结构变粗糙，针尖长细，顶端呈现纳米针状阵列结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 暨南大学 一种等离子注氮TiO2/TiN电极及其制备方法与应用
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