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一种医用金属表面兼具力学和生物学性能的渗氮-TiN复合涂层制备方法 

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申请/专利权人:华南理工大学

摘要:本发明提供了一种医用金属表面兼具力学和生物学性能的渗氮‑TiN复合涂层制备方法。通过集成低压等离子渗氮技术和高离化PVD涂层技术制备复合涂层,并对PVD涂层技术的关键工艺参数优化,构筑TiN涂层化学成分、表面形貌及结构,显著改善TiN涂层的附着力、耐磨性、生物相容性和抗细菌粘附性,在金属植入物表面改性领域具有重要的商业化潜力。

主权项:1.一种医用金属表面兼具力学和生物学性能的渗氮-TiN复合涂层制备方法,包括步骤:1基体准备和预处理:将基体研磨、抛光后放入无水乙醇中超声清洗,风干的基体送入镀膜设备腔室中,通过多次加热和抽真空去除基体表面吸附的水分、微量气体和易挥发杂质;2离子清洗:采用电弧增强辉光放电技术对基体进行离子清洗,采用的阴极靶材为纯度99.99%的Ti靶,通入高纯Ar使腔室气压维持在1×10-4~1×10-2mbar;3低压等离子体渗氮处理:采用低压等离子体渗氮技术对基体进行渗氮处理,向腔室内连续通入高纯N2、高纯H2和高纯Ar,同时保持腔室内合适的气压和温度恒定,基体加负偏压,进行等离子体渗氮处理;4原位一体镀膜处理:采用高功率脉冲磁控溅射技术,或者等离子辅助电弧与高功率脉冲磁控溅射的混合沉积镀膜技术在渗氮基体表面制备一层兼具优良生物相容性和抗细菌粘附性的TiN复合涂层。

全文数据:

权利要求:

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