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超音波换能装置及应用其的超音波探头 

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申请/专利权人:苏州佳世达电通有限公司;佳世达科技股份有限公司

摘要:本实用新型提供一种超音波换能装置及应用其的超音波探头,包括基板、超音波振荡单元、接地讯号线、直流电压讯号线以及交流电压讯号线。基板包括主动元件区以及布线区位于主动元件区的周围。超音波振荡单元包括第一电极层、第二电极层、第三电极层以及空腔,第一电极层位于空腔的第一侧,第二电极层与第三电极层位于空腔的第二侧与第一侧相对。接地讯号线设置于布线区与第一电极层电性连接。直流电压讯号线设置于布线区与第二电极层电性连接。交流电压讯号线设置于布线区与第三电极层电性连接。接地讯号线与直流电压讯号线于布线区具有不同水平高度的电性连接区。

主权项:1.一种超音波换能装置,其特征在于,包括:基板,包括主动元件区以及布线区,该布线区位于该主动元件区的周围;超音波振荡单元,设置于该主动元件区上,该超音波振荡单元包括第一电极层、第二电极层、第三电极层以及空腔,该第一电极层位于该空腔的第一侧,该第二电极层与该第三电极层位于该空腔的第二侧,该第一侧与该第二侧相对;接地讯号线,设置于该布线区,该接地讯号线与该第一电极层电性连接;直流电压讯号线,设置于该布线区,该直流电压讯号线与该第二电极层电性连接;以及交流电压讯号线,设置于该布线区,该交流电压讯号线与该第三电极层电性连接;其中,该接地讯号线与该直流电压讯号线于该布线区具有不同水平高度的电性连接区。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州佳世达电通有限公司 佳世达科技股份有限公司 超音波换能装置及应用其的超音波探头

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