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石英内屏及其制备方法、热屏、热场及单晶炉 

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申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司

摘要:本申请公开了一种石英内屏及其制备方法、热屏、热场及单晶炉,石英内屏设有中空型腔,中空型腔具有沿第一方向相对的第一开口和第二开口,所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径,且所述石英内屏在所述第一开口处的壁厚与在所述第二开口处的壁厚的差值为:‑1mm~1mm。通过设置石英内屏的中空型腔的第一开口大于第二开口,以使石英内屏呈上宽下窄的结构,从而能够在石英内屏的中空型腔内形成纵向梯度分布的热场。同时,通过控制石英内屏在第一开口处的壁厚与在第二开口处的壁厚的差值在一定范围内,以保证石英内屏的壁厚分布均匀,从而确保石英内屏不同部分的隔热保温作用。

主权项:1.一种石英内屏,其特征在于,所述石英内屏设有中空型腔,所述中空型腔具有沿第一方向相对的第一开口和第二开口,所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径,且所述石英内屏在所述第一开口处的壁厚与在所述第二开口处的壁厚的差值为:-1mm~1mm。

全文数据:

权利要求:

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