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冷却装置 

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申请/专利权人:富联裕展科技(深圳)有限公司

摘要:一种冷却装置,其包括:承载组件,包括承载件、进液件和出液件,承载件承载工件并与进液件和出液件连接,承载件设有冷却液循环腔体,冷却液循环腔体与进液件、出液件连通,进液件所传输的冷却液经冷却液循环腔体流至出液件;多个制冷芯片,嵌设至承载件的外侧壁和冷却液循环腔体的腔壁之间并沿承载件的周向间隔设置,且多个制冷芯片并联联接,每个制冷芯片具有相对设置的冷端和热端,冷端邻近承载件的外侧壁,热端邻近冷却液循环腔体的腔壁;及多个温度传感器,与多个制冷芯片依次交替设置。冷却装置通过多个制冷芯片根据对应的温度传感器所检测的温度信息,控制冷端通过承载件的外侧壁对工件的温度过高的区域快速地降温散热,提高降温效率。

主权项:1.一种冷却装置,其特征在于,所述冷却装置包括:承载组件,包括承载件、进液件和出液件,所述承载件用于承载工件并与所述进液件和所述出液件分别连接,所述承载件设有冷却液循环腔体,所述冷却液循环腔体与所述进液件、所述出液件连通,所述进液件所传输的冷却液经所述冷却液循环腔体流至所述出液件;多个制冷芯片,嵌设至所述承载件的外侧壁和所述冷却液循环腔体的腔壁之间并沿所述承载件的周向间隔设置,且多个所述制冷芯片并联连接,每个所述制冷芯片具有相对设置的冷端和热端,所述冷端邻近所述承载件的外侧壁,所述冷端用于对所述工件进行散热,所述热端邻近所述冷却液循环腔体的腔壁,所述热端分别与所述冷端和所述冷却液循环腔体内的所述冷却液分别进行热交换;及多个温度传感器,与多个所述制冷芯片依次交替设置,多个所述温度传感器用于对所述工件进行温度检测。

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权利要求:

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