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申请/专利权人：聚勒微电子科技(太仓)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种快速加热碳化硅管式退火炉，本实用新型涉及退火炉技术领域。分液板的一端固定连接有出液管，抽液机的一端固定连接有输液管，抽气管的底部固定连接有净化管，炉门的下端固定连接有置物板，炉门的顶部向内凸起设置有滑动杆，通过加热棒对退火炉中的金属进行加热后，由抽液机将冷却液通过输液管喷入退火炉外壳的内腔中对金属进行冷却，后由抽气管顶部设置的抽液机将冷却液与金属反应的气体抽出经由净化管过滤后排出，防止在金属与冷却液解除后可能产生的有毒气体直接排入空气中对操作人员的健康产生危害，以及对环境产生污染，经由过滤净化后的气体不会对人体以及环境造成危害。
主权项：1.一种快速加热碳化硅管式退火炉，包括炉体组件（1），其特征在于：所述炉体组件（1）的表面及内腔设置有退火组件（2）；所述退火组件（2）包括分液板（21）、抽气管（22）和炉门（24），所述分液板（21）的一端固定连接有出液管（29），所述出液管（29）向下弯折顶部固定连接有抽液机（211），所述抽液机（211）的一端固定连接有输液管（210），所述抽气管（22）的底部固定连接有净化管（23），所述炉门（24）的下端固定连接有置物板（25），所述炉门（24）的顶部向内凸起设置有滑动杆（26），所述抽气管（22）的底部固定连接有喷液头（213）；所述炉体组件（1）包括退火炉外壳（11），所述退火炉外壳（11）的内部中空，内腔顶部向内突起设置有固定块（12），所述退火炉外壳（11）的顶部开设有多个喷液孔（13），所述退火炉外壳（11）的侧面开设有抽气孔（17），所述退火炉外壳（11）的底部向外一体式延伸有延长板（14），所述延长板（14）的中部向上凸起设置有滑块（15），所述延长板（14）的一端向上凸起有隔挡板（16）。
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权利要求：
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