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申请/专利权人：科廷表面科技(浙江)有限公司

摘要：本发明属于等离子涂层技术领域，具体的说是一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置，包括真空室，所述真空室顶端安装有固定架，所述固定架的底端固接有喷射组件，所述喷射组件包括喷射源、靶材，所述真空室的内部且位于喷射组件的下方转动连接有转动架，所述转动架通过外部伺服电机驱动，所述转动架的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架，所述转动架的内部插接有连接架，所述连接架的内部固接有多个偏压电极，多个所述偏压电极与安装槽一一对应；通过供电组件的设计，使得转动架内部的其他的偏压电极不需要时刻供电，实现了仅对待加工的工件进行通电镀覆的效果，达到了节省能源的目的。

主权项：1.一种DLC溅射等离子涂层装置，其特征在于：包括真空室（1），所述真空室（1）顶端安装有固定架（2），所述固定架（2）的底端固接有喷射组件（3），所述喷射组件（3）包括喷射源、靶材，所述真空室（1）的内部且位于喷射组件（3）的下方转动连接有转动架（4），所述转动架（4）通过外部伺服电机驱动，所述转动架（4）的外部均匀开设有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位框架（15），所述转动架（4）的内部插接有连接架（5），所述连接架（5）的内部固接有多个偏压电极（10），多个所述偏压电极（10）与安装槽一一对应，所述喷射组件（3）与偏压电极（10）相对时可以产生负偏压进而能够在待镀工件表面镀上一层致密的膜层，所述转动架（4）内部设置有供电组件，所述供电组件用以向只正对于喷射组件（3）的安装槽所对应的偏压电极（10）供电；所述供电组件包括限位杆（6），所述限位杆（6）插接在连接架（5）的内部并与连接架（5）转动连接，所述限位杆（6）的内部且位于喷射组件（3）的正下方滑动连接有导动杆（11），所述导动杆（11）顶端固接有导电板（9），所述限位杆（6）的内部插接有供电芯（8），所述供电芯（8）远离转动架（4）的一端安装有插电座（7），所述限位杆（6）的内部且位于真空室（1）与供电芯（8）之间开设有安装槽，所述导动杆（11）外部且位于安装槽内部固接有复位弹簧（12），所述导动杆（11）与供电芯（8）之间固接有导线（13），所述导线（13）与导电板（9）连通，所述导线（13）的长度为过盈设置，所述连接架（5）的内部开设有多个与偏压电极（10）一一对应的卡槽，所述卡槽与导电板（9）相适配，所述卡槽内部安装有与偏压电极（10）连通的导电块，所述导电板（9）与卡槽的两侧均开设有倒角。

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