龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
摘要：本申请公开了一种机台曝光稳定装置，该机台曝光稳定装置包括发光模组和机台模组，其中，发光模组包括一第一发光器件；机台模组包括若干光刻机，若干光刻机均由第一发光器件提供光源。本方案可以降低不同光刻机进行光刻工艺时的差异性。
主权项：1.一种机台曝光稳定装置，其特征在于，包括：发光模组，所述发光模组包括一第一发光器件；机台模组，所述机台模组包括若干光刻机，若干所述光刻机均由所述第一发光器件提供光源；光强调整模组，所述光强调整模组设置于所述发光模组和所述机台模组之间，所述光强调整模组包括若干光强调整组件，每一个所述光强调整组件对应一个所述光刻机；所述光强调整组件包括光强调整单元和光强检测单元，所述光强调整单元用于对所述第一发光器件发射的光源进行调整，所述光强检测单元用于对经过所述光强调整单元调整后的光源进行光强检测；所述光强调整单元与所述光强检测单元电连接，所述光强检测单元用于对光强未到达阈值的光源进行阻挡，并返回一电信号至所述光强调整单元，所述光强调整单元用于当接收到所述电信号时，重新对光源进行调整，以使照射到所述光刻机的光强达到阈值，以保证每一个所述光刻机的光强均一性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 机台曝光稳定装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号