龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：正帆科技(湖州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种尾气稀释装置，属于半导体设备技术领域。尾气稀释装置包括第一管道、第二管道、逆止组件和底座，第一管道的一端与第一装置连通，第二管道的一端与排气管道的内部连通。逆止组件连接于底座，逆止组件的流入端与第一管道的另一端连通，逆止组件的另一端与第二管道的流出端连通，逆止组件用于防止第二管道的气体流入第一管道。尾气稀释装置能够防止第二管道的气体流入第一管道内部，保证气体只能沿第一管道流向第二管道的单向流动，避免尾气进入第一装置内部，对第一装置造成腐蚀，引发第一装置的故障。
主权项：1.一种尾气稀释装置，定义装载氮气的装置为第一装置110，定义装载尾气的装置为第二装置120，定义处理尾气的装置为第三装置140，所述第二装置120与所述第三装置140之间连通有排气管道150，尾气由所述第二装置120经过所述排气管道150排至所述第三装置140，其特征在于，所述尾气稀释装置包括：底座1；第一管道111，所述第一管道111的一端与所述第一装置110连通；第二管道131，所述第二管道131的一端与所述排气管道150的内部连通；逆止组件2，所述逆止组件2连接于所述底座1，所述逆止组件2的流入端与所述第一管道111的另一端连通，所述逆止组件2的流出端与所述第二管道131的另一端连通，所述逆止组件2用于防止所述第二管道131的气体流入所述第一管道111。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 正帆科技(湖州)有限公司 一种尾气稀释装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号