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申请/专利权人：浙江瑞亨电子材料有限公司

摘要：本发明公开了一种电子级一氟甲烷提纯装置及提纯工艺，涉及一氟甲烷提纯技术领域；包括塔体，所述塔体侧面上设置有进气管，所述塔体侧面上设置有进液管，还包括，所述喷洒组件设置在所述塔体内上侧，用于旋转喷洒反应液体，所述升降组件设置在塔体内位于所述喷洒组件的下方，用于增大塔体内的压强，所述回液组件设置在塔体内位于所述升降组件上端，用于使洒落的水再次向上飞溅，回液组件位于喷洒组件的下方；本发明解决了现有装置反应液体与杂质反应时间短造成纯度低，及液体反应不完全造成反应液浪费的问题。

主权项：1.一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于，包括塔体，所述塔体侧面上设置有进气管，所述塔体侧面上设置有进液管，还包括：喷洒组件，设置在所述塔体内上侧，用于旋转喷洒反应液体，所述的喷洒组件包括设置在所述塔体内壁上的支撑件，所述支撑件上设置有能够相对于支撑件转动且上下轴向的环形喷头；升降组件，设置在塔体内位于所述喷洒组件的下方，用于增大塔体内的压强，回液组件，设置在塔体内位于所述升降组件的上端，用于使洒落的水再次向上飞溅，所述回液组件位于所述喷洒组件的下方；所述环形喷头外缘面上同轴开设有连接槽，所述支撑件上端固定设有插入连接槽内且与连接槽滑动连接的密封塞，所述连接槽上下两侧壁上分别开设有密封槽，所述密封塞上下两侧分别设置有能够插入其对应侧密封槽内的密封圈，所述进液管伸出连接槽且与环形喷头连通；所述的环形喷头内缘面上固定设有连接架，所述连接架下端转动设有上下轴向的转轴，所述塔体内侧壁上设置有第一防护件，所述连接架下方设置有第二防护件，所述转轴下端延伸至第二防护件内且同轴设有位于第二防护件内的从动件，所述塔体内设置有与所述从动件啮合且位于第一防护件内的驱动件，所述第一防护件与第二防护件的外壁固定连接；所述的升降组件包括设置在支撑件下端的第一连接件，第一连接件与第二防护件固定连接，所述转轴位于第一连接件内，所述转轴上设置有一端位于第一连接件内的牵引件，所述牵引件与第一连接件滑动连接，所述塔体内侧壁上滑动设有升降件，所述升降件上端转动设有连接轴，所述连接轴上端与牵引件通过第三连接件转动连接；所述的回液组件包括转动设置在升降件上端的转动件，所述转动件和升降件之间设有气动伸缩件，所述转动件外缘面上设置有多个沿其圆周方向均布且与升降件上端面接触的回液件，所述升降件下端固定设有导向件，所述导向件圆周面上开设有升降槽，所述连接轴圆周面上滑动设有插入升降槽内的导向杆，所述导向杆另一端伸出升降槽且固定设有第二连接件，所述第二连接件内滑动设有推动件，所述升降件上滑动设有密封件；所述的密封件下端固定设有推块，所述推块下端开设有与升降件相对偏心的推动槽，所述推动件后侧固定设有能够插入推动槽内的推杆，所述连接轴与导向件之间设置有弹性收缩件，所述密封件与升降件之间设置有第二弹性伸缩件；所述的推块上与推动件转动方向相同的一侧为倾斜面，所述推动件下端与第二连接件之间设置有第一弹性伸缩件，所述升降件下端和塔体之间设有第三弹性伸缩件；所述的塔体上端设置有排气口，所述排气口上设置有第一电磁阀，所述进液管上设置有第二电磁阀，所述进气管上设置有第三电磁阀，所述塔体上设置有控制器，所述塔体内设置有温度调节件，所述支撑件下端设置有用于检测升降件上端和塔体之间压力的压力传感器。

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