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申请/专利权人：深圳市穗晶半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法，包括两层重叠的亚波长结构阵列，每层的亚波长结构阵列分别设置在不同的静电梳状式致动器上；其中，静电梳状式致动器包括固定岛、可动梳齿、固定梳齿、可动光栅及弹簧，可动光栅的单个光栅之间通过弹簧连接，可动光栅中间位置的目标光栅与固定岛连接，可动光栅的外侧光栅与可动梳齿连接，固定梳齿设置在可动梳齿的外侧，可动梳齿、可动光栅及弹簧组成悬浮结构，亚波长结构按照预设周期设置在可动光栅的单个光栅上形成亚波长结构阵列。本发明实施例可以减小透镜的体积、复杂度和加工难度，调控方便，可广泛应用于光学器件技术领域。
主权项：1.一种可变焦超透镜，其特征在于，包括两层重叠的亚波长结构阵列，每层的亚波长结构阵列分别设置在不同的静电梳状式致动器上；其中，所述静电梳状式致动器包括固定岛、可动梳齿、固定梳齿、可动光栅及弹簧，所述可动光栅的单个光栅之间通过所述弹簧连接，所述可动光栅中间位置的目标光栅与所述固定岛连接，所述可动光栅的外侧光栅与所述可动梳齿连接，所述固定梳齿设置在所述可动梳齿的外侧，所述可动梳齿、所述可动光栅及所述弹簧组成悬浮结构，亚波长结构按照预设周期设置在所述可动光栅的单个光栅上形成亚波长结构阵列。
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权利要求：
百度查询： 深圳市穗晶半导体有限公司 一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法
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