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具有可超音速转动的无桨叶气体撞击表面的非密封式真空泵 

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申请/专利权人:赵建中

摘要:一种真空泵,通常包含被不透气的隔板隔开的低压部分和高压部分。气体分子经由隔板上的开孔离开低压部分并被动地撞击到高压部分内的无特征的可转动表面上。驱动器以撞击气体分子的最可能速度的数倍以上的超音速范围内的切线速度来转动可转动表面。这些撞击气体分子从可转动表面的周边向外射出,产生实质净向外的气体流,并降低低压部分内的压力。真空泵可在没有使用密封件来防止气体分子回漏至低压部分以及没有使用桨叶或叶片来主动地冲击这些气体分子的情况下,有效地将低压部分内的压力降低至目标最小压力。

主权项:1.一种用于抽泵气体的真空泵,包含:实质不透气的外围体,其中所述外围体界定带有内表面的内部空间;在所述内部空间内的可转动的盘或环,其中所述可转动的盘或环具有第一表面、与所述第一表面相反的第二表面、及介于所述第一表面和所述第二表面之间的周缘,及其中所述第一表面和所述第二表面是实质平的;其中所述可转动的盘或环被安排成将所述内部空间分隔成低压部分和高压部分,所述第一表面面向所述低压部分且所述第二表面面向所述高压部分;其中所述外围体具有与所述第一表面隔开的第一顶点,并且所述内表面在所述内部空间的所述低压部分内实质环绕所述可转动的盘或环的整个所述周缘从所述第一顶点处或附近实质连续地向外倾斜;其中所述可转动的盘或环的所述周缘和所述外围体的所述内表面界定第一间隙,其中在所述真空泵抽泵气体时,所述气体能够经由所述第一间隙在所述低压部分与所述高压部分之间流动,并且没有密封件来防止所述气体经由所述第一间隙在所述高压部分与所述低压部分之间流动,其中所述第一间隙具有第一尺寸,所述第一尺寸与在所述低压部分内在预定的目标最小压力下的所述气体的平均自由路径的长度相关,使得在所述真空泵抽泵所述气体时,所述第一间隙能够将所述气体的净流出从所述低压部分传导到所述高压部分,直至所述低压部分内的压力达到所述目标最小压力为止;驱动器,被耦合至所述可转动的盘或环,其中所述驱动器是可操作的,用以在所述低压部分内的从初始压力到所述目标最小压力的压力范围内通过使所述第一表面和所述第二表面的至少一部分具有在所述气体的分子的最可能速度的1至6倍的范围内的切线速度来转动所述可转动的盘或环,用以造成撞击在所述可转动的盘或环上的所述气体的分子从所述可转动的盘或环的所述周缘向外流经所述第一间隙,用以在单个抽泵阶段内将所述低压部分内的压力从所述初始压力降低至预定的所述目标最小压力;在所述高压部分内的第二围体,其中所述第二围体是实质不透气的,界定邻近所述可转动的盘或环的所述第二表面的第二内部空间,具有与所述第二表面隔开的第二顶点,且具有从所述第二顶点向外朝向在所述高压部分内的所述可转动的盘或环的所述周缘倾斜并且实质上环绕整个所述周缘恰好向内终止于所述周缘的表面;其中,所述可转动的盘或环的所述周缘和所述第二围体的所述表面界定具有第二尺寸的第二间隙,其中所述第二内部空间和所述高压部分经由所述第二间隙气体连通;其中,所述第二间隙的所述第二尺寸略小于所述第一间隙的所述第一尺寸,用以在所述真空泵抽泵所述气体时,降低在所述第一表面和所述第二表面之间的压力差。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 赵建中 具有可超音速转动的无桨叶气体撞击表面的非密封式真空泵

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