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申请/专利权人：江苏亿钶半导体设备有限公司
摘要：本发明为一种气体加热装置，它包括安装设备内多个不锈钢管路，所述管路呈U型结构，该U型结构的上方两侧分别为气体进口和气体出口，在气体进口和气体出口的下方直线管路上套设有盘旋而下的电磁加热线圈，该电磁加热线圈与外管路之间留有一定间隙，且电磁加热线圈由外部的PLC控制器控制，在U型管的弯折处安装有温度传感器和压力传感器。本发明具有结构简单合理，精确控制加热温度，减少热损耗，提高加热效率，提高供气稳定性等特点。
主权项：1.一种气体加热装置，它包括安装设备内多个不锈钢管路，其特征在于：所述管路呈U型结构，该U型结构的上方两侧分别为气体进口和气体出口，在气体进口和气体出口的下方直线管路上套设有盘旋而下的电磁加热线圈，该电磁加热线圈与外管路之间留有一定间隙，且电磁加热线圈由外部的PLC控制器控制，在U型管的弯折处安装有温度传感器和压力传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亿钶半导体设备有限公司 一种气体加热装置
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