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申请/专利权人：联华电子股份有限公司
摘要：本发明公开一种制作工艺弱点严重程度模型的建立方法与建立装置。制作工艺弱点严重程度模型的建立方法包括以下步骤。获得数个制作工艺弱点。以至少一制作工艺参数的数个参数设定值，对各个制作工艺弱点执行数个实验，以获得数个实验结果。依据此些实验结果，获得数个缺陷。根据此些缺陷及对应的此些参数设定值，分析各个制作工艺弱点的一严重程度。对此些制作工艺弱点标示此些严重程度。以标示此些严重程度的此些制作工艺弱点，进行机器学习，以训练出制作工艺弱点严重程度模型。
主权项：1.一种制作工艺弱点严重程度模型的建立方法，包括：获得多个制作工艺弱点；以至少一制作工艺参数的多个参数设定值，对各该制作工艺弱点执行多个实验，以获得多个实验结果；依据该些实验结果，获得多个缺陷；根据该些缺陷及对应的该些参数设定值，分析各该制作工艺弱点的严重程度；对该些制作工艺弱点标示该些严重程度；以及以标示该些严重程度的该些制作工艺弱点，进行机器学习，以训练出该制作工艺弱点严重程度模型。
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百度查询： 联华电子股份有限公司 制作工艺弱点严重程度模型的建立方法与建立装置
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