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申请/专利权人：北京石油化工学院;北京海炬电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种气动针刺巨量转移装置，由气动针刺视觉系统、晶膜传送系统和基板传送系统组成，气动针刺视觉系统主要包括：大理石平台、支撑梁、相机安装板、相机、针刺滑台组件导轨、针刺滑台电机定子、针刺滑台组件、调压阀、高频压电陶瓷阀、针刺连接板和气嘴顶针；晶膜传送系统主要包括：支座、直线电机定子、限位板、晶膜传送架、晶膜载台和晶膜；基板传送系统主要包括：导轨、基板传送架电机定子、基板传送架、固定板和目标基板。本发明采用针刺与气动双重驱动芯片转移，利用针刺驱动源晶膜产生大形变，增加了晶膜回弹力，消除了顶针与芯片接触应力，提高了芯片工作寿命，缩短了晶膜回弹时间，提升了单颗芯片转移速度和芯片转移效率。

主权项：1.一种气动针刺巨量转移装置，其特征在于，包括气动针刺视觉系统、晶膜传送系统和基板传送系统三部分；所述气动针刺视觉系统主要包括：大理石平台1、支撑梁2、气动针刺视觉安装板3、左相机安装板4A、右相机安装板4B、左相机5A、右相机5B、针刺滑台组件左导轨6A、针刺滑台组件右导轨6B、针刺滑台电机定子7、针刺滑台组件8、Z向光栅尺9、调压阀10、高频压电陶瓷阀11、针刺连接板12和气嘴顶针13；所述晶膜传送系统主要包括：左支座14A、右支座14B、左外导轨15A、左内导轨15B、右外导轨15C、右内导轨15D、左直线电机定子16A、右直线电机定子16B、左前限位板17A、右前限位板17B、晶膜传送架18、上X向光栅尺19、晶膜载台20、晶膜21和上Y向光栅尺22；所述基板传送系统主要包括：左导轨23A、右导轨23B、基板传送架电机定子24、基板传送架25、固定板26、目标基板27、下Y向光栅尺28和下X向光栅尺29；所述大理石平台1位于支撑梁2和气动针刺视觉安装板3的下方，支撑梁2位于大理石平台1的上方，并通过紧固螺钉安装在大理石平台1上表面，气动针刺视觉安装板3位于支撑梁2水平横梁的前表面中心位置，并通过紧固螺钉安装在支撑梁2上，左相机安装板4A和右相机安装板4B呈左右对称分布于气动针刺视觉安装板3上表面中心线两侧，并通过紧固螺钉安装在气动针刺视觉安装板3上，左相机5A位于左相机安装板4A安装孔内，右相机5B位于右相机安装板4B安装孔内，针刺滑台组件左导轨6A和针刺滑台组件右导轨6B呈左右对称分布于气动针刺视觉安装板3上表面中心线两侧，针刺滑台组件左导轨6A位于左相机安装板4A的右侧，并通过紧固螺钉安装在气动针刺视觉安装板3上，针刺滑台组件右导轨6B位于右相机安装板4B的左侧，并通过紧固螺钉安装在气动针刺视觉安装板3上，针刺滑台电机定子7位于气动针刺视觉安装板3上表面中心线位置，针刺滑台电机定子7位于针刺滑台组件左导轨6A和针刺滑台组件右导轨6B之间，并通过紧固螺钉安装在气动针刺视觉安装板3上，针刺滑台组件8位于针刺滑台组件左导轨6A和针刺滑台组件右导轨6B前方，并通过针刺滑台组件8底部滑块卡在针刺滑台组件左导轨6A和针刺滑台组件右导轨6B上，Z向光栅尺9位于针刺滑台组件右导轨6B的右侧，并通过环氧树脂胶贴在针刺滑台组件右导轨6B上，Z向光栅尺9读数头位于针刺滑台组件8右侧表面边缘，并通过紧固螺钉安装在针刺滑台组件8上，调压阀10和高频压电陶瓷阀11位于针刺滑台组件8前表面左上侧，并通过紧固螺钉安装在针刺滑台组件8上，调压阀10位于高频压电陶瓷阀11的上方，针刺连接板12位于针刺滑台组件8前表面中心位置，并通过紧固螺钉安装在针刺滑台组件8上，气嘴顶针13位于针刺连接板12圆孔内，左支座14A和右支座14B分别位于大理石平台1上表面左右两侧，左支座14A和右支座14B位于支撑梁2内侧，左支座14A和右支座14B位于气动针刺视觉安装板3的外侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台1上，左外导轨15A和左内导轨15B对称分布在左支座14A上表面，并通过紧固螺钉安装在左支座14A上，右外导轨15C和右内导轨15D对称分布在右支座14B上表面，并通过紧固螺钉安装在右支座14B上，左直线电机定子16A位于左支座14A上表面，左直线电机定子16A位于左外导轨15A和左内导轨15B之间，并通过紧固螺钉安装在左支座14A上，右直线电机定子16B位于右支座14B上表面，右直线电机定子16B位于右外导轨15C和右内导轨15D之间，并通过紧固螺钉安装在右支座14B上，左前限位板17A位于左支座14A前表面上端，并通过紧固螺钉安装在左支座14A上，右前限位板17B位于右支座14B前表面上端，并通过紧固螺钉安装在右支座14B上，晶膜传送架18位于左外导轨15A、左内导轨15B、右外导轨15C和右内导轨15D上方，晶膜传送架18位于气动针刺视觉安装板3的下方，并通过晶膜传送架18底板上的滑块卡在左外导轨15A、左内导轨15B、右外导轨15C和右内导轨15D上，上X向光栅尺19位于左支座14A右侧表面上沿，并通过环氧树脂胶粘在左支座14A上，上X向光栅尺19读数头位于晶膜传送架18前表面左侧，上X向光栅尺19读数头位于左支座14A的右侧，并通过紧固螺钉安装在晶膜传送架18上，晶膜载台20位于晶膜传送架18上方，晶膜载台20位于气动针刺视觉安装板3的下方，并通过晶膜载台20底端的滑块卡在晶膜传送架18的导轨上，晶膜21安装在晶膜载台20的卡槽内，上Y向光栅尺22位于晶膜传送架18前挡板内侧上表面，并通过环氧树脂胶固定在晶膜传送架18上，上Y向光栅尺22读数头位于晶膜载台20上表面前侧边缘，上Y向光栅尺22读数头位于上Y向光栅尺22的后方，并通过紧固螺钉安装在晶膜载台20上，左导轨23A和右导轨23B呈左右对称分布于大理石平台1上表面中心线两侧，左导轨23A和右导轨23B位于左支座14A和右支座14B内侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台1上，基板传送架电机定子24位于大理石平台1上表面中心线处，基板传送架电机定子24位于左导轨23A和右导轨23B之间，并通过紧固螺钉安装在大理石平台1上，基板传送架25位于左导轨23A和右导轨23B上方，基板传送架25位于晶膜传送架18的下方，并通过基板传送架25底部滑块卡在左导轨23A和右导轨23B上，固定板26位于基板传送架25的上方，通过固定板26底部的滑块卡在基板传送架25的导轨上，目标基板27安装在固定板26上方卡槽内，下Y向光栅尺28位于基板传送架25前侧表面，通过环氧树脂胶贴在基板传送架25上，下Y向光栅尺28读数头位于固定板26前侧表面中心位置，并通过紧固螺钉安装在固定板26上，下X向光栅尺29位于右导轨23B的右侧，并通过环氧树脂胶贴在右导轨23B上，下X向光栅尺29读数头位于基板传送架25右侧表面边缘，并通过紧固螺钉安装在基板传送架25。

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