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申请/专利权人:常州澳弘电子股份有限公司
摘要:本实用新型公开了蚀刻液在线监测装置,包括监测箱体,所述监测箱体内成型有分隔板,将监测箱体分为监测腔和出液腔,所述监测箱体的下端连接有进液管和回液管,所述进液管和回液管的下端均连接有同一连接管,连接管与蚀刻液箱体连接,所述连接管与回液管之间设置有单向阀,所述出液腔与进液管连接,所述监测腔与回液管连接,本实用新型设置分隔板,将监测箱体分为监测腔和出液腔,利用监测腔对蚀刻液进行收集,使蚀刻液先被监测后再进入蚀刻箱体内,提高了监测的精准度,同时设置回液管,使监测腔和蚀刻箱体内的蚀刻液进行循环流动,使蚀刻液均匀分布,提高监测精度。
主权项:1.蚀刻液在线监测装置,包括监测箱体,其特征在于:所述监测箱体内成型有分隔板,将监测箱体分为监测腔和出液腔,所述监测箱体的下端连接有进液管和回液管,所述进液管和回液管的下端均连接有同一连接管,连接管与蚀刻液箱体连接,所述连接管与回液管之间设置有单向阀,所述出液腔与进液管连接,所述监测腔与回液管连接,所述监测箱体上开设有进液口,进液口与监测腔连通,所述监测箱体的上端固定有安装座,所述安装座上连接有比重传感器,所述比重传感器的下端连接有比重检测头,所述比重检测头位于监测腔内。
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