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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种基于低能离子束溅射的半球谐振子修形方法，采用离子束对半球谐振子进行修形，在半球谐振子赤道区域加工时，将离子源沿半球谐振子的径向方向入射进行离子束迭代加工，可控性更强，同时在加工过程中调控参数以减少热变形对修形精度的影响以实现高精度谐振子的加工。
主权项：1.一种基于低能离子束溅射的半球谐振子修形方法，其特征在于：包括以下步骤：1、检测待加工半球谐振子的面形精度，判断面形精度PV值是否大于0.3μm，若是，则修正半球谐振子的面形精度PV值至小于0.3μm，否则执行步骤2；2、将待加工半球谐振子的面形沿球面母线展开后得到的面形分布矩阵R；3、确定离子束抛光工艺参数，根据工艺参数获取去除函数矩阵r和去除函数直径d；4、根据去除函数直径d对面形分布矩阵R进行边缘拓扑获得边缘延拓面形矩阵Rreal，根据面形分布矩阵Rreal和去除函数矩阵r，计算得到离子束加工的驻留时间分布矩阵M；5、根据离子束加工驻留时间分布矩阵M，对加工过程中半球谐振子的加工温度场和热膨胀进行计算，判断热变形参数u值是否小于100μm，若是，按照步骤4的驻留时间分布矩阵M执行步骤7，否则，调整加工温度调整因子n值使n×u100μm，将步骤4的驻留时间矩阵M与n相乘，获得新的驻留时间矩阵Mn，执行步骤7；6、根据离散数据间隔D与待加工半球谐振子面形每一个数据点xi,yi所在的径向半径Ri，计算出对应的角度间隔Di；7、根据步骤5得到的驻留时间矩阵M或Mn与步骤6得到角度间隔Di计算获得C轴旋转角速度值，得到速度矩阵V；8、将速度矩阵V编制至离子束加工数控代码，将离子源沿半球谐振子的径向方向入射进行离子束迭代加工[1]，对半球谐振子进行面形精度修形，[]为向下取整函数；9、检测待加工半球谐振子的面形精度，判断面形精度PV值是否大于0.1μm，若是则修形完成进行后续调平步骤，否则跳转执行步骤3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种基于低能离子束溅射的半球谐振子修形方法
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