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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本申请属于微机电系统制造技术领域，涉及熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，包括：安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具；三轴运动平台设在安装平台上，且喷灯与车刀同时设在三轴运动平台上，以实现喷灯的对准与点火，并实现车刀的对刀与退刀；旋转平台设在安装平台上，底部通过气滑环与外界真空泵相连，顶部通过真空腔与石墨模具相连，以使石英片在石墨模具的支撑、旋转平台的旋转以及真空负压的吸附下逐渐变形。采用本申请能够制造高对称性、一致性好的敏感结构曲面壳体，提高熔融石英微半球谐振陀螺的性能。
主权项：1.熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，包括：安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具；三轴运动平台设在安装平台上，且喷灯与车刀同时设在三轴运动平台上，以实现喷灯的对准与点火，并实现车刀的对刀与退刀；石墨模具包括本体、支撑柱以及侧壁；本体为圆形的板状结构，支撑柱为设在本体顶部中央的圆柱形结构，侧壁为设在本体顶部的圆环状结构，且均匀间隔套设在支撑柱的周围，以使支撑柱与侧壁之间形成内腔；侧壁以及内腔底部上均设有沿真空腔轴向方向的通孔，以作为吸附通道，吸附通道与外界真空泵相连，以用于实现抽真空；车刀通过三轴运动平台实现与支撑柱的对刀，并在旋转平台旋转时依次车削支撑柱和内腔侧壁，以在熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体吹制加工前，通过对刀车削，提升支撑柱与旋转平台主轴的同轴度，并提升内腔侧壁与旋转平台主轴的同轴度；旋转平台设在安装平台上，底部通过气滑环与外界真空泵相连，顶部通过真空腔与石墨模具相连，以使石英片在石墨模具的支撑、旋转平台的旋转以及真空负压的吸附下逐渐变形；石墨模具、真空腔、旋转平台的主轴以及气滑环的内部均是贯通的，以形成连通的气体通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置
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