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申请/专利权人：浙江理工大学
摘要：本发明公开了一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器及制备方法，所述探测器依次包括蓝宝石衬底，置于蓝宝石衬底上方的β‑Ga2O3光吸收层，置于β‑Ga2O3光吸收层上方的SSO层，置于SSO层上方的第一测试电极以及置于β‑Ga2O3光吸收层上方的第二测试电极；其中于β‑Ga2O3光吸收层与SSO层，形成β‑Ga2O3SSO异质结，构成内界电场，以分离光生载流子。所制备的氧化镓基紫外探测器性能稳定，灵敏度高，响应速度快，具有自供电性能可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测，在高压电晕检测领域具有很大的应用前景。
主权项：1.一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器，其特征在于：包括蓝宝石的衬底1，置于所述衬底1上方的β-Ga2O3薄膜2，置于所述β-Ga2O3薄膜2上方的SSO层3，置于所述SSO层3上的第一测试电极4，置于所述SSO层3一侧且位于所述β-Ga2O3薄膜2上的第二测试电极5，所述β-Ga2O3薄膜2与所述SSO层3形成β-Ga2O3SSO异质结，构成内界电场，所述SSO层3为SrSnO3，且SrSnO3需在氧气氛围中退火且进行Y元素掺杂形成Y-O2-SrSnO3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江理工大学 一种基于氧化镓异质结构的日盲紫外探测器及制备方法
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