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申请/专利权人：沈阳晶润半导体材料有限公司

摘要：本发明涉及清洁技术领域，具体是一种半导体基底清洁装置，所述支撑柱板的顶部固定连接有安装顶板，所述支撑柱板的顶部固定连接有运输电机，运输电机的输出端固定连接有运输带，运输带与安装顶板转动连接，所述运输带的表面等距固定连接有夹持固定块，夹持固定块的内侧滑动卡接有滑动内卡块，所述滑动内卡块的底部固定连接有两个伸缩内柱，所述伸缩内柱的外侧滑动卡接有伸缩外筒，所述伸缩外筒的底部固定连接有吸附安装板，通过滑动内卡块及底部装置的设置，以及运输带和夹持固定块的设置，可以避免人工的参与，同时可以达到，下沉及捞起的过程，通过烘干箱可以进行烘干，增加清洁的效率和保护人员的安全。

主权项：1.一种半导体基底清洁装置，包括安装底桌1、支撑柱板2，其特征在于：所述支撑柱板2的顶部固定连接有安装顶板4，所述支撑柱板2的顶部固定连接有运输电机5，运输电机5的输出端固定连接有运输带6，运输带6与安装顶板4转动连接，所述运输带6的表面等距固定连接有夹持固定块7，夹持固定块7的内侧滑动卡接有滑动内卡块16，所述滑动内卡块16的底部固定连接有两个伸缩内柱17，所述伸缩内柱17的外侧滑动卡接有伸缩外筒18，所述伸缩外筒18的底部固定连接有吸附安装板20，所述伸缩外筒18的侧部顶端固定连接有梯形斜块19，所述伸缩外筒18的内部活动安装有压缩弹簧21，所述压缩弹簧21的两端分别与伸缩内柱17和吸附安装板20固定连接；所述安装底桌1的顶部固定连接有四个安装侧板9，安装侧板9相邻一侧均固定连接有滑动底条10，滑动底条10的两端固定连接有滑动斜条11，两个滑动斜条11之间固定连接有滑动底块12，两个安装侧板9的一侧固定连接有第一顶条13，另外两个安装侧板9与第一顶条13相邻一侧固定连接有第二顶条14，第一顶条13与滑动底条10的间距与梯形斜块19的高度相同，第二顶条14与滑动底条10的间距与梯形斜块19的高度相同；所述安装侧板9的内侧顶部固定连接有带压动块15，所述带压动块15位于运输带6的内侧；所述安装底桌1的顶部固定连接有超声波清洗箱23，所述安装底桌1的内侧固定连接有清洗电机8，所述清洗电机8的输出端固定连接有清洗轴24，清洗轴24贯穿安装底桌1的顶部与超声波清洗箱23的底部，且压缩弹簧21的顶端固定连接有清洁棉盘22；所述超声波清洗箱23的一侧固定连接有烘干箱3，所述烘干箱3内部安装有烘干机，所述烘干箱3固定连接于两个安装侧板9的内侧；所述第一顶条13的两端与支撑柱板2固定连接，第二顶条14的两端为斜面；所述带压动块15与第一顶条13和第二顶条14的间距与滑动内卡块16的高度相同。

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