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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供一种图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法，该图案化组合物包括金属有机化合物、多极性基团化合物和溶剂，所述金属有机化合物包括有机金属氧团簇和或有机锡簇；所述有机金属氧团簇包括金属氧团簇骨架、配位连接于所述金属氧团簇骨架上的具有辐射敏感性的第一有机配体；所述有机锡簇包括由烷基锡化合物和或环烷基锡化合物构成的锡团簇骨架以及配位连接于所述锡团簇骨架上的第二有机配体。该图案化组合物具有良好的存储稳定性，显影条件符合图案化过程要求，能够形成具有较高分辨率和较低边沿粗糙度的图案。
主权项：1.一种图案化组合物，其特征在于，包括金属有机化合物、多极性基团化合物和溶剂，所述金属有机化合物包括有机锡簇；所述有机锡簇包括化学结构如式（1）和或式（2）所示的结构： 式（1），式（2），其中，X为O或S或NH，R为取代或非取代或主链上含有杂原子的烷基、取代或非取代的环烷基，R’为取代或非取代或主链上含有杂原子的烷基、或取代或非取代的芳基；所述多极性基团化合物中的极性基团包括醇羟基、胺基、酰胺基、硫醇基、羧酸基中的一种或多种，所述图案化组合物中，所述多极性基团化合物的质量占所述金属有机化合物质量的10%-1000%；所述多极性基团化合物用于提升所述图案化组合物的稳定性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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