龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了一种激光窗口防蒸镀的设备，包括：真空室，真空室上具有激光窗口；工作台装置，工作台装置的至少部分设在真空室内且具有加工区域；激光光学系统，激光光学系统设在真空室上且可向真空室内发射的激光束，防蒸镀装置，防蒸镀装置设于真空室内且包括防蒸镀玻璃、活动挡板和出光口，防蒸镀玻璃设在激光窗口面向蒸汽来源的方向，出光口设在防蒸镀玻璃面向蒸汽来源的方向，活动挡板可以开启或封闭出光口。由此激光光学系统发射的激光束，能够透过激光窗口、防蒸镀玻璃和出光口，对加工区域进行扫描；还可以利用激光对镀层进行清理，解决了激光玻璃窗口被金属蒸汽污染的问题。
主权项：1.一种激光窗口防蒸镀的设备，其特征在于，包括：真空室，所述真空室上具有激光窗口；工作台装置，所述工作台装置的至少部分设在所述真空室内且具有位于所述真空室内的加工区域；激光光学系统，所述激光光学系统设在所述真空室上且可向所述真空室内发射的激光束；防蒸镀装置，所述防蒸镀装置设于所述真空室内且包括防蒸镀玻璃、活动挡板和出光口，所述防蒸镀玻璃设在所述激光窗口面向蒸汽来源的方向，所述出光口设在所述防蒸镀玻璃面向蒸汽来源的方向，所述活动挡板可以开启所述出光口，以便所述激光光学系统发射的激光束，能够透过所述激光窗口、所述防蒸镀玻璃和所述出光口，对所述加工区域进行扫描；所述活动挡板还可以封闭所述出光口，以遮挡住真空室中的蒸汽，防止对所述防蒸镀玻璃的蒸镀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 激光窗口防蒸镀的设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号