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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：本申请的实施例公开了一种用于测量气体性质、特别是气体成分，更特别是氢水平的传感器1600，其中传感器包括半导体管芯0101，其中半导体管芯包括测量腔1116，其中测量传感器元件1322布置在测量腔中，其中半导体管芯0101包括接触焊盘1014、1015，其中半导体管芯包括掩埋导体0203、0204，其中掩埋导体将测量传感器元件1322电连接到接触焊盘，其中半导体管芯的导电接合层1320围绕测量腔以提供导电接合表面，并且其中掩埋导体与导电接合层隔离。另外的示例公开了用于制造传感器的方法。
主权项：1.一种用于测量气体性质的传感器1600、特别是用于测量气体成分、更特别是氢水平的传感器1600，其中所述传感器1600包括半导体管芯，其中所述半导体管芯包括测量腔1116，其中测量传感器元件1322被布置在所述测量腔1116中，其中所述半导体管芯0101包括接触焊盘0914、0915，其中所述半导体管芯包括掩埋导体0203、0204，其中所述掩埋导体0203、0204将所述测量传感器元件1322电连接到所述接触焊盘0914、0915，其中所述半导体管芯的导电接合层1320围绕所述测量腔1116以提供导电接合表面，并且其中所述掩埋导体0203、0204与所述导电接合层1320隔离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 用于测量气体性质的传感器
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