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硅片清洗甩干装置 

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申请/专利权人:河南省华兴隆新能源科技有限公司

摘要:本实用新型涉及硅片加工技术领域,特别是涉及硅片清洗甩干装置,包括底座、清洗筒、排水管,所述清洗筒固定在所述底座上方,所述排水管固定在所述清洗筒侧面,还包括用于带动硅片旋转的旋转机构,所述旋转机构安装在所述底座上。本实用新型通过设置旋转机构,使用装置时,将硅片按顺序放入固定盘上的卡槽中并使得硅片一面与第一顶杆接触,硅片放置完毕后转动转动套,转动套带动转动杆转动,转动杆带动第二顶杆转动,第二顶杆转动与硅片另一面接触,第一顶杆和第二顶杆共同协作对硅片进行夹持固定,仅需一次操作就能够完成多个硅片的固定,固定过程方便快捷,有效提高了硅片的生产效率。

主权项:1.硅片清洗甩干装置,包括底座1、清洗筒2、排水管3,所述清洗筒2固定在所述底座1上方,所述排水管3固定在所述清洗筒2侧面,其特征在于:还包括用于带动硅片旋转的旋转机构4,所述旋转机构4安装在所述底座1上;所述旋转机构4包括固定板401、电动推杆402、升降板403、盖板404、电机405、夹持组件,所述电动推杆402安装在所述固定板401上方,所述升降板403安装在所述电动推杆402上方,所述盖板404固定在所述升降板403前部,所述电机405固定在所述盖板404上方,所述夹持组件安装在所述电机405输出端,所述夹持组件包括固定轴406、固定盘407、第一顶杆408、支撑架409、转动套410、转动杆411、第二顶杆412,所述固定盘407安装在所述固定轴406下方,所述第一顶杆408安装在所述固定盘407上,所述支撑架409安装在所述固定盘407下方,所述转动套410安装在所述固定轴406外侧,所述转动杆411固定在所述转动套410外侧,所述第二顶杆412固定在所述转动杆411上。

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