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一种GaN基自发白光LED外延薄膜结构及其制备方法 

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申请/专利权人:聚灿光电科技股份有限公司;天津工业大学

摘要:本发明公开了一种GaN基自发白光LED外延薄膜结构及其制备方法。该结构主要包括蓝宝石图形化衬底、缓冲层、uGaN层、粗化多孔层、n‑GaN层、黄光量子阱层、电子阻挡层以及p型层。其中,粗化多孔层由交替生长的InGaN层和GaN层组成,通过特定的温度和H2蚀刻处理形成多孔结构,实现了蓝色发光。黄光量子阱层则负责黄色波段的发光。本发明无需荧光粉即可实现自发白光,简化了生产工艺,降低了成本,并提高了光源的稳定性和可控性。此技术可广泛应用于照明、显示及背光等领域,具有显著的市场潜力和实用价值。

主权项:1.一种GaN基自发白光LED外延薄膜结构,其特征在于,包括:蓝宝石图形化衬底;依次生长在蓝宝石图形化衬底上的AlN与GaN组合的Buffer层;生长在Buffer层上的uGaN层;生长在uGaN层上的粗化多孔层,该粗化多孔层由交替生长的InGaN层和GaN层组成,InGaN层在H2蚀刻处理下形成多孔结构,GaN层作为量子垒层;生长在粗化多孔层上的n-GaN层;生长在n-GaN层上的黄光量子阱层,其发光波长在580nm~600nm之间;生长在黄光量子阱层上的电子阻挡层,其组份为AlGaN;生长在电子阻挡层上的掺杂Mg的p-GaN层和p型接触层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 聚灿光电科技股份有限公司 天津工业大学 一种GaN基自发白光LED外延薄膜结构及其制备方法

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