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基于泰伯-莫尔条纹全视场频率分析的透镜焦距高精度测量仪 

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申请/专利权人:广东工业大学

摘要:本发明公开了一种基于泰伯‑莫尔条纹全视场频率分析的透镜焦距高精度测量仪,涉及高精度测量光学曲面镜的焦距。本发明采用半导体光纤激光器作为光源系统,该系统所发出的光源为点光源;采用两块光栅用于形成莫尔条纹图像,第二光栅放置在第一光栅的泰伯距离处;采用了远心镜头设计,拍摄泰伯‑莫尔条纹全视场图像。本发明使用半导体光纤激光器以其稳定性和优异的光束质量为精确测量光学反射镜焦距提供了理想的光源;远心镜头设计的关键优点是能在聚焦图像区域,x,y,z三个维度几乎无视差成像,可以有效消除由机械系统角度误差引起的测量误差。本发明提出全视场频率分析技术可以高精度提取泰伯‑莫尔技术频率和宽度,从而高精度得出光学镜焦距。

主权项:1.基于泰伯-莫尔技术的全视场频率分析的高精度焦距测量仪器,其特征在于,点光源发出的光经过光路传播到达待测透镜后,经待测透镜反射到第一光栅,在第一光栅上形成泰伯像,将第二光栅放置在泰伯距离上,光经过第二光栅,与第一光栅叠加形成莫尔条纹,用远心镜头设计系统采集泰伯-莫尔条纹图像。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东工业大学 基于泰伯-莫尔条纹全视场频率分析的透镜焦距高精度测量仪

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