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申请/专利权人：AP系统股份有限公司
摘要：本揭示涉及一种能够达成转子的稳定磁悬浮旋转的磁悬浮旋转装置以及包括其的基底处理装置。所述磁悬浮旋转装置可包括：壳体，包括具有圆柱形形状的内壁、具有圆柱形形状且设置于内壁外侧的外壁、及被配置成将内壁连接至外壁的底部部分；转子，具有圆柱形形状，容纳在壳体的内壁与外壁之间的容纳空间中，且通过磁力悬浮并围绕垂直轴旋转；定子，设置于外壁外侧且向转子提供磁力；以及多个水平位移传感器，安装至定子且被配置成对转子的水平位移进行测量。
主权项：1.一种磁悬浮旋转装置，包括：壳体，包括具有圆柱形形状的内壁、具有圆柱形形状并设置于所述内壁外侧的外壁及被配置成将所述内壁连接至所述外壁的底部部分；转子，具有圆柱形形状，容纳在所述壳体的所述内壁与所述外壁之间的容纳空间中，且通过磁力悬浮并围绕垂直轴旋转；定子，设置于所述外壁外侧且向所述转子提供所述磁力；以及多个水平位移传感器，安装至所述定子且被配置成对所述转子的水平位移进行测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： AP系统股份有限公司 磁悬浮旋转装置以及使用其的基底处理装置
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