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申请/专利权人：拓思精工科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶片双面刷洗设备，包括进料装置、第一刷洗装置、第二刷洗装置、冲洗装置、甩干装置、出料装置和移料装置，第一刷洗装置、第二刷洗装置及冲洗装置分别用于对晶片进行双面酸洗、双面碱洗及双面清水冲洗，移料装置包括第一移料机构、第二移料机构和第三移料机构，第一移料机构设置在进料装置、第一刷洗装置、第二刷洗装置的侧部并用于在三者之间移送晶片，第二移料机构设置在第二刷洗装置、冲洗装置的侧部并用于在两者之间移送晶片，第三移料机构设置在冲洗装置、甩干装置、出料装置的侧部并用于在三者之间移送晶片。本实用新型可实现晶片的快速全面高效的双面刷洗，自动化程度高，提高了刷洗效率，设备占用空间小，清洗效果好。
主权项：1.一种晶片双面刷洗设备，其特征在于：包括进料装置、第一刷洗装置、第二刷洗装置、冲洗装置、甩干装置、出料装置以及移料装置，所述的第一刷洗装置、第二刷洗装置分别用于对晶片进行双面酸洗、双面碱洗，所述的冲洗装置用于对晶片进行双面清水冲洗，所述的进料装置、第一刷洗装置以及第二刷洗装置沿第一方向设置，所述的冲洗装置、甩干装置以及出料装置也沿第一方向设置，且所述的冲洗装置沿第二方向设置在所述的第二刷洗装置的侧部，所述的第一方向、第二方向相互垂直，所述的移料装置包括第一移料机构、第二移料机构以及第三移料机构，所述的第一移料机构沿所述的第二方向设置在所述的进料装置、第一刷洗装置、第二刷洗装置的侧部并用于在三者之间移送晶片，所述的第二移料机构沿所述的第一方向设置在所述的第二刷洗装置、冲洗装置的侧部并用于在两者之间移送晶片，所述的第三移料机构沿所述的第二方向设置在所述的冲洗装置、甩干装置、出料装置的侧部并用于在三者之间移送晶片。
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权利要求：
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