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申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司

摘要：本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置，包括刷洗池、传动轴和晶圆片，所述传动轴的表面固定连接有滚筒，所述滚筒的表面开设有多个槽孔，所述滚筒内部与槽孔对应的内表面设置有水道，所述滚筒的内部滑动连接有调节支板，该可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置，通过伸缩机构与调节支板的配合以及刷座与刷头的配合使用，当刷头对晶圆表面进行刷洗之后，可将刷头收回到水道中，挡片与滚筒的配合，可使被收回的刷头所在的水道内部保持封闭状态，从而便于对刷头进行清洗，以去除刷头表面残留的杂质，以保证刷头为洁净的，从而避免对晶圆造成交叉污染，有利于提高晶圆表面刷洗的清洁度。

主权项：1.一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置，包括刷洗池（1）、传动轴（2）和晶圆片（8），其特征在于：所述传动轴（2）的表面固定连接有滚筒（3），所述滚筒（3）的表面开设有多个槽孔（31），所述滚筒（3）内部与槽孔（31）对应的内表面设置有水道（5），所述滚筒（3）的内部滑动连接有调节支板（7），所述调节支板（7）的表面设置有多个刷座（71），所述刷座（71）位于所述水道（5）内部，与所述水道（5）的底面滑动连接，所述刷座（71）的表面设置有刷头（72），所述刷头（72）与所述槽孔（31）相适配，所述调节支板（7）的表面设置有用于带动调节支板（7）沿所述刷头（72）方向移动的伸缩调节机构（9），所述滚筒（3）的外表面设置有挡片（4），所述挡片（4）与所述刷洗池（1）固定连接，所述挡片（4）的内表面与所述滚筒（3）的外表面相适配；所述传动轴（2）的表面设置有分水盘（61），所述分水盘（61）的一侧表面连接有进水管（6），所述分水盘（61）另一侧的表面连接有多个导管（62），所述导管（62）与对应的所述水道（5）连通;所述水道（5）的两端均设有导管（62）和分水盘（61），所述水道（5）远离进水管（6）的一侧设置有出水管（63）;所述伸缩调节机构（9）包括支撑轴（91）、支盘（92）、调节导柱（93）；所述支撑轴（91）与所述滚筒（3）的内表面转动连接，与所述刷洗池（1）固定连接，所述支盘（92）位于所述支撑轴（91）的表面，所述支盘（92）的表面开设有调节槽环（921）;所述调节槽环（921）由圆环槽和凸槽组成，所述凸槽位于所述调节槽环（921）的正上面，所述调节导柱（93）位于所述调节支板（7）的两端，所述调节导柱（93）与所述调节槽环（921）相适配。

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