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申请/专利权人：江苏嘉茂材料科技有限公司
申请日：2023-11-29
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275872U
主分类号：C23C14/35
分类号：C23C14/35
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座，所述底座顶部左右两侧均固定连接有支撑座，所述支撑座两侧均设置有限位结构；所述限位结构包括螺纹杆，所述螺纹杆与支撑座螺纹连接，所述螺纹杆远离支撑座的一侧固定连接有把手，所述螺纹杆朝向底座中部的一侧固定连接有夹板，所述夹板顶部与底部均固定连接有滑块；所述电动伸缩杆输出端铰接有限位块，所述限位块接近滑块的一侧固定连接有复位弹簧。该便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，具备在支撑座两侧以及镀膜箱内均设置有限位结构，而限位结构能够灵活对不同规格的靶材进行限位，进而靶材在镀膜翻转时减少滑落的现象，从而增强机台实用性等优点。
主权项：1.一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材，包括底座1，其特征在于：所述底座1顶部左右两侧均固定连接有支撑座2，所述支撑座2两侧均设置有限位结构；所述限位结构包括螺纹杆7，所述螺纹杆7与支撑座2螺纹连接，所述螺纹杆7远离支撑座2的一侧固定连接有把手6，所述螺纹杆7朝向底座1中部的一侧固定连接有夹板12，所述夹板12顶部与底部均固定连接有滑块11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏嘉茂材料科技有限公司 一种便于磁控镀膜机机台安装的溅射靶材
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