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一种半导体机台的改良机构 

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申请/专利权人:杨永梅

摘要:本发明公开了一种半导体机台的改良机构,包括基座,所述基座的顶部通过螺栓连接有罩体,且罩体的顶部为开口设置,所述基座的顶部靠近后侧处通过螺栓连接有导轨,且导轨上滑动连接有U形板,所述U形板的顶部通过转轴和轴承活动连接有放置板,所述放置板的顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有侧板,所述放置板的底部靠近前侧处通过转轴和轴承活动连接有摆动管,本发明通过旋转、摆动管及管体等部件之间的相互配合,可实现带动U形板在导轨上左右滑动,且能够使得放置板及摆动管进行摆动,从而使得其转动时能配套的进行左右移动及摆动,从而提高了其调节效率和通风效率,到达在有效通风和降温的目的,提高了其工作效率。

主权项:1.一种半导体机台的改良机构,包括基座1,其特征在于:所述基座1的顶部通过螺栓连接有罩体6,且罩体6的顶部为开口设置,所述基座1的顶部靠近后侧处通过螺栓连接有导轨4,且导轨4上滑动连接有U形板2,所述U形板2的顶部通过转轴和轴承活动连接有放置板7,所述放置板7的顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有侧板11,所述放置板7的底部靠近前侧处通过转轴和轴承活动连接有摆动管21,且摆动管21的前侧和后侧均为封闭设置,所述摆动管21的前端靠近前侧处套设有管体25,所述管体25的底部焊接有旋转板23,且旋转板23的底部通过转轴和轴承与基座1的顶部活动连接,所述基座1的底部中间处通过螺栓连接有伺服电机24,且旋转板23底部上的转轴底端穿过轴承的内圈与伺服电机24的输出轴固定连接,所述旋转板23的左右两侧均通过螺栓连接有冷风机26,且两个冷风机26的出风口上均套接有L形管27,所述L形管27与冷风机26相远离的一端与摆动管21的内部相连通连接。

全文数据:

权利要求:

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