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申请/专利权人：弥费科技(上海)股份有限公司
申请日：2023-11-07
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275111U
主分类号：B66F7/06
分类号：B66F7/06;B66F7/28
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本申请涉及一种用于晶圆缓存设备快速搬运的装置；包括：底座，所述底座设有沿所述底座的高度方向设置的安装腔，所述安装腔的顶部开放；升降平台，所述升降平台安装于所述底座，且所述升降平台的至少部分容纳在所述安装腔中；以及若干车轮，在与所述高度方向相垂直的方向上，所述车轮安装于安装腔的一侧，且所述车轮的顶部不高于所述底座的顶部。升降平台能够根据需要升降，从而能够支撑住晶圆缓存设备快速，并且能够抬升底部距离地面高度不同的不同晶圆缓存设备。此外，升降平台能够至少部分容纳于安装腔，车轮安装于安装腔的一侧且车轮的顶部不高于底座的顶部，能够极大地降低装置在底座的高度方向上的尺寸。
主权项：1.一种用于晶圆缓存设备快速搬运的装置，其特征在于，所述用于晶圆缓存设备快速搬运的装置包括：底座，所述底座设有沿所述底座的高度方向设置的安装腔，所述安装腔的顶部开放；升降平台，所述升降平台安装于所述底座，且所述升降平台的至少部分容纳在所述安装腔中；以及若干车轮，在与所述高度方向相垂直的方向上，所述车轮安装于安装腔的一侧，且所述车轮的顶部不高于所述底座的顶部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弥费科技(上海)股份有限公司 用于晶圆缓存设备快速搬运的装置
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