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申请/专利权人：托普斯(常州)精密机械有限公司
申请日：2023-09-25
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221281457U
主分类号：G05D23/20
分类号：G05D23/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及恒温技术领域，具体公开了特殊液体的恒温控制系统，包括：外壳，外壳的内部设置有盘热管；搅拌组件，搅拌组件设置在外壳的表面，搅拌组件对系统中的特殊液体进行搅拌；传动组件，传动组件设置在搅拌组件的侧面，传动组件对外壳中的盘热管作幅度较小的上下移动，使盘热管周围的特殊液体受热更加均匀搅拌组件包括电机，电机的一端固定连接有转轴一，转轴一的一端固定连接有锥齿轮一，转轴一的表面固定连接有转轮一。搅拌组件和传动组件能够保持特殊液体的恒温控制系统中的特殊液体分布均匀，增加了该系统的热响应性能，并保持特殊液体的稳定温度，从而会提高对半导体晶圆操作的精度和结果准确性。
主权项：1.特殊液体的恒温控制系统，包括：外壳1，所述外壳1的内部设置有盘热管2；其特征在于：搅拌组件3，所述搅拌组件3设置在外壳1的表面，所述搅拌组件3对系统中的特殊液体进行搅拌；传动组件4，所述传动组件4设置在搅拌组件3的侧面，所述传动组件4对外壳1中的盘热管2作幅度较小的上下移动，使盘热管2周围的特殊液体受热更加均匀；所述搅拌组件3包括电机5，所述电机5的一端固定连接有转轴一6，所述转轴一6的一端固定连接有锥齿轮一7，所述转轴一6的表面固定连接有转轮一8；所述锥齿轮一7的表面啮合连接有锥齿轮二9，所述锥齿轮二9的表面固定连接有搅拌杆10，所述搅拌杆10的表面固定连接有三个相同的固定套11，三个所述固定套11的表面固定连接有搅拌叶12；所述传动组件4包括转轴二14，所述转轴二14的表面固定连接有转轮二15，所述转轮二15的表面滑动连接有皮带一13，所述转轴二14的表面固定连接有转轮三16，所述转轮三16的表面滑动连接有皮带二17，所述皮带二17的一端滑动连接有转轮四18，所述转轮四18的表面固定连接有转轴三19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 托普斯(常州)精密机械有限公司 特殊液体的恒温控制系统
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