申请/专利权人：张春燕

申请日：2021-05-15

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN115337781B

主分类号：B01D61/00

分类号：B01D61/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2022.12.02#实质审查的生效;2022.11.15#公开

摘要：本发明涉及一种用于过滤光刻胶的过滤器，其包括壳体及密封固定于壳体内部的滤芯，滤芯中，滤膜的材质为PE、尼龙或PTFE，上述材料性能优越，与光刻胶溶液的兼容性好，可最大限度地减少纤维或颗粒脱落；滤膜的透水性能为0.10～4.0mlmin·cm2，泡点为0.30MPa‑0.80Mpa，可提供满足芯片制程的过滤速率和对尺寸为1‑100nm的颗粒高效截留；且滤膜的厚度为7‑16um，可满足相应的力学性能要求，避免滤膜破裂；滤膜折叠形成褶，其褶高为中心杆外周和外壳内壁间径向距离的1.4‑2.5倍，壳体内壁与滤芯外周间的距离不大于3mm，且在二者间形成定位机构，确保在滤芯外周与壳体内壁间处处均形成间隙，以便光刻胶原料液可均匀分布于滤膜的整个表面，提高过滤速率的均匀性和滤膜的利用率。

主权项：1.一种用于过滤光刻胶的过滤器，其包括壳体及密封固定于壳体内部的滤芯，所述壳体具有入口、出口和排气口，所述滤芯包括中心杆、外壳、填充于二者间的滤膜及密封固定于两端的第一端盖和第二端盖，其特征在于：所述滤膜的材质为PE、尼龙或PTFE，其透水性能为0.10～4.0mlmin·cm2，泡点为0.30MPa-0.80MPa，厚度为7-16um，所述滤膜折叠形成褶，其褶高为中心杆外周和外壳内壁间径向距离的1.4-2.5倍，所述壳体内壁与滤芯外周间的距离不大于3mm，且在二者间形成定位机构，以确保滤芯外周与壳体内壁间处处均形成间隙；所述褶的数量为50-100，其过滤面积为0.2-0.4m2，所述褶在中心杆和外壳之间呈月牙状延伸，所述褶高都相同或者所述褶为高低相间排列；所述壳体包括第一壳体和与第一壳体密封连接的第二壳体，所述入口、出口和排气口均位于第一壳体中，所述滤芯定位于第二壳体的内部，所述中心杆内部通过第一端盖上的开孔与出口形成流体连通，所述中心杆的内径为8-10mm，其中心轴线与出口的中心轴线错开。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 张春燕 一种用于过滤光刻胶的过滤器

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