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微纳光学元件参数测量装置 

申请/专利权人:中北大学

申请日:2024-06-04

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118294117A

主分类号:G01M11/02

分类号:G01M11/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明涉及光学元件测量技术领域,具体涉及一种微纳光学元件参数测量装置,主要解决现有微纳光学元件参数测量装置参数测量范围较小的技术问题。本装置设有滑动板,滑动板的滑动轨迹为以安放器所在位置为圆心的弧形,测量光源和偏振片皆位于滑动板上且测量光源的中心、偏振片的中心和安放器的中心共线,滑动板在滑动过程中能够始终保证测量光源发出的光线穿过偏振片到达位于安放器的待测光学元件,如此通过滑动板的滑动便能够调整测量光源的入射角度;同时,偏振片设有多个且透光栅格角度不同,测量时选取合适的偏振片使其处于工作状态,并控制其他偏振片处于避让状态,如此能够实现不同透光栅格角度下的光学元件测量。

主权项:1.一种微纳光学元件参数测量装置,其特征在于,包括:固定基板(1);安放器(2),其固定于所述固定基板(1)上且用于安装待测光学元件;滑动组件(3),其包括滑动板(31)和驱动件(32),所述滑动板(31)滑动连接在所述固定基板(1)上,且所述滑动板(31)的滑动轨迹为以所述安放器(2)所在位置为圆心的弧形,所述驱动件(32)安装在所述固定基板(1)上且与所述滑动板(31)连接,所述驱动件(32)用于驱动所述滑动板(31)沿所述滑动轨迹滑动;测量光源(4),其固定在所述滑动板(31)上且发射端朝向所述安放器(2);偏振组件(5),其包括固定座(51)和多个偏振片(52),所述固定座(51)固定在所述滑动板(31)上且设有多个安装位,多个偏振片(52)的透光栅格角度不同且分别安装在多个安装位上,每个偏振片(52)皆具有中心位于测量光源(4)的中心与安放器(2)的中心连线上的工作状态和脱离测量光源(4)与安放器(2)之间区域的避让状态。

全文数据:

权利要求:

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