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申请/专利权人：株式会社三丰
申请日：2024-01-03
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118293788A
主分类号：G01B11/00
分类号：G01B11/00;G01B11/14;G01B9/02;G01B9/02055
优先权：["20230105 JP 2023-000435"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.05#公开
摘要：一种非接触式探头10，包括：用点状激光束扫描测量目标对象的光照射部20；图像捕获部30，其通过使用从包括多个像素列的光接收表面选择的多个像素列来捕获由测量目标对象反射的激光束的图像，并生成捕获图像；位置感测部41，其感测激光束在捕获图像上的图像形成位置；以及像素列改变部42，其选择不同的多个像素列，使得图像形成位置包括在所选择的多个像素列中。
主权项：1.一种非接触式探头，包括：光照射部，其用点状激光束扫描测量目标对象；图像捕获部，其通过使用从包括多个像素列的光接收表面选择的多个像素列来捕获由所述测量目标对象反射的激光束的图像，并生成捕获图像；位置感测部，其感测激光束在所述捕获图像上的图像形成位置；和像素列改变部，其选择不同的多个像素列，使得所述图像形成位置包括在所选择的多个像素列中。
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