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申请/专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日：2024-05-15
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118286814A
主分类号：B01D50/20
分类号：B01D50/20
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明涉及一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法，该处理装置包括：旋风分离器；所述旋风分离器的侧壁开设有进气口，顶部开设有出气口，底部开设有排灰口；所述进气口通过第一管道与反应炉的尾气出口连接，所述出气口通过第二管道与真空泵尾气进口连接；所述旋风分离器的漏斗内壁连接有抖动组件；所述旋风分离器的内部固定连接有初滤网，所述初滤网位于所述进气口的正上方。在本发明中，大部分的颗粒物会在旋风分离当中被截留下来，通过抖动组件抖动落入积灰仓内，达到分离效果，微小颗粒物则在初滤网当中被拦截，以此确保过滤效果，管路和阀门不易堵塞，减少维护频次。
主权项：1.一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：旋风分离器（1）；所述旋风分离器（1）的侧壁开设有进气口（2），顶部开设有出气口（3），底部开设有排灰口（4）；所述进气口（2）通过第一管道（5）与反应炉（6）的尾气出口连接，所述出气口（3）通过第二管道（7）与真空泵（8）的尾气进口连接；所述旋风分离器（1）的漏斗内壁连接有抖动组件；所述旋风分离器（1）的内部固定连接有初滤网（9），所述初滤网（9）位于所述进气口（2）的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州志橙半导体有限公司 一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法
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